晶圓薄膜應(yīng)力測試儀
主要特點：
l 快速、非接觸式測量；
l 樣品臺可通用于3至8寸晶圓，128L型號適用于12寸晶圓，128G 型號適用于470 X 370mm樣品，另可按要求訂做；
l 利雙激光自動轉(zhuǎn)換技術(shù)：如某一波長激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會自動使用另一波長激光進行掃瞄，滿足不同材料的應(yīng)用；
l 全自動平臺，可以進行2D及3D掃瞄（可選)；
l 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求：電介質(zhì)厚度測量，光致發(fā)光激振光譜分析（III-V族的缺陷研究）；
l 500 及 900°C高溫型號可選；
l 樣品上有圖案亦適用；
l 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa。
晶圓薄膜應(yīng)力測試儀
室溫系統(tǒng)
FSM 128
大樣品直徑200mm
FSM 128L
大樣品直徑300mm
FSM 128G
大樣品550×650mm
變溫系
FSM 500TC
電阻加熱工作臺：溫度可控，高500℃
FSM 900TC-vac
RTP型腔室：溫度可控，高900℃（可選1100℃）；真空達到 1E-6 Torr
武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業(yè)研發(fā)，以力學(xué)試驗機儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器。現(xiàn)有員工60多人，公司成功開發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件，并采用全數(shù)字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標(biāo)準(zhǔn)、國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求，公司亦通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證和國家計量體系認(rèn)證，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。
