實(shí)驗(yàn)室勻膠旋涂?jī)x
技術(shù)參數(shù)
▲1.保護(hù)氣體裝置：旋涂過(guò)程中對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)（可選擇取消）；
2.支持Wafer尺寸：小標(biāo)配為10 mm，可選配到3mm或5mm；大到直徑6英寸（150mm）的圓片或邊長(zhǎng)5x5英寸（125x125mm）的方片，無(wú)需更換片托；
3.設(shè)備材質(zhì)：全部采用易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)，環(huán)保，抗震，耐腐蝕；
▲4.無(wú)刷馬達(dá)：直流雙向旋轉(zhuǎn)，正反旋轉(zhuǎn)速度±100~±12000rpm，穩(wěn)定性能誤差±1rpm；
5.馬達(dá)安全模式：可設(shè)置非真空模式，轉(zhuǎn)速3000rpm，加速度500rpm/s；
6.加速度可控范圍：100-30000RPM/S；
7.工藝時(shí)間：每步可以設(shè)定45小時(shí)，精度不超過(guò)0.1秒；
8. PLC控制：4.3英寸全彩觸摸屏高精度PLC可編程的控制器；
9.程序段：可存儲(chǔ)99個(gè)程序段，每個(gè)程序段可設(shè)置50個(gè)不同步驟的速度狀態(tài)；
10.無(wú)油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié)；
11.擴(kuò)展功能：可升級(jí)預(yù)留端口，可擴(kuò)展自動(dòng)滴膠裝置、自動(dòng)去邊裝置、手動(dòng)去邊等選配項(xiàng)。
實(shí)驗(yàn)室勻膠旋涂?jī)x設(shè)備性能特點(diǎn)
馬達(dá)控制：無(wú)刷直流雙向旋轉(zhuǎn)；
智能程控：控制器可拆卸，4.3英寸寸全彩觸屏，配有智能觸碰筆，按鍵有提示音，功能有顏色區(qū)分，適用于手套箱；
腔體材質(zhì)：易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性；
模式切換：可自由切換單步模式、多步模式和曲線(xiàn)分析圖；
防止堵膠：雙真空腔設(shè)計(jì)；
預(yù)留端口：可升級(jí)擴(kuò)展其他多種選配項(xiàng)；
密碼功能：設(shè)有開(kāi)機(jī)密碼和管理員密碼，管理員有權(quán)限修改核心參數(shù)；
安全報(bào)警：系統(tǒng)蓋板嵌鎖、真空異常、通氣異常、系統(tǒng)進(jìn)膠、馬達(dá)轉(zhuǎn)速異常均會(huì)報(bào)警，通過(guò)聲音和界面對(duì)話(huà)框提示；
氣流保護(hù)：旋涂過(guò)程中對(duì)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)（也可選擇取消），易維護(hù)，易清潔，大幅提高馬達(dá)使用壽命；
四、應(yīng)用領(lǐng)域
- 半導(dǎo)體芯片制造
- 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備
- 微納和微流控
- 納米薄膜
- 高分子材料
- 有機(jī)光伏
- 有機(jī)發(fā)光二極管
- 有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管&薄膜晶體管
- 石墨烯&二維材料
