產品型號

100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD

技術參數

1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz

2、輸入功率：5W-100W（可調），穩定性±1%        

3、射頻頻率：13.56MHz，穩定性±0.005%

4、匹配：手動匹配

5、冷卻：風冷

6、噪音：<50dB

產品規格

尺寸：390mm×260mm×105mm

可選配件

1、1"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。

2、同時購買100W射頻發射器和1"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75"，可將濺射

 　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。

3、循環水冷機，流量為16L/min，水箱容積為6L。