產品簡介：VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機是一種滿足半導體TSV、MEMS、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業設備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術均勻噴涂在一定溫度的物件表面,多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設備。VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機采用鋁型材機柜,耐腐蝕透明PC板和噴塑機柜鈑金組成,美觀大方。七寸全彩觸屏界面,高精密電缸和伺服系統控制,整體設計布局合理,簡單易用。
產品名稱 | VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機 |
主要特點 | 1、全柜式集成結構，工業級設計 2、大適合8寸晶圓，向下兼容，基片工裝方便更換 3、XYZ三軸電缸設計，噴頭高度程序可設置 4、轉盤加熱旋轉系統，工作區高熱均勻性 5、微量平流系統，流速平穩，流量精確可調 6、采用超聲噴霧系統，霧化顆粒均勻，功率可調 7、帶基片吸附和電動頂針功能，方便上下片和計時功能 8、帶膠液監測功能，頂部抽風，保證工業生產需要 9、七寸全彩觸屏操作，手動調試和自動運行兩種操作模式 |
技術參數 | 1、電源：AC220V，50HZ，1.5KW 2、工作環境：濕度：20-90%，溫度20-30℃ 3、處理Wafer尺寸：200mm以下，向下兼容 4、熱盤溫度控制：室溫至200℃，控溫精度±0.5℃，工作區溫度均勻性 小于±1% 5、基片頂升系統：頂升高度0-15mm，高度分辨率0.1mm 膠液流速范圍 1-20ml/min可調 6、熱盤電機額定轉速：1000rpm 7、XY電缸移動大速度：X軸200mm/s，Y軸200mm/s 8、XY電缸有效行程：300mm×300mm 9、超聲波霧化粒徑：30-50μm 10、操作系統：人機互動界面，PLC控制 11、噴嘴移動方式：電動機械組合XYZ三軸電缸 |
產品規格 | 1、機器尺寸：1000mm×880mm×1800mm （長×寬×高） 2、重量：55Kg |
