產(chǎn)品簡介：VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機可以對涂膜機腔室進(jìn)行抽真空，使樣品在*真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜，適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用，對腔體抽真空時采用樣品卡盤固定樣品。VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機不對腔體抽真空工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在樣品吸盤上，該設(shè)備可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度*限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節(jié)約材料。VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進(jìn)行薄膜的生成過程。
產(chǎn)品名稱 | VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機 | ||
產(chǎn)品型號 | VTC-200PV | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：不需要 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點 | 1、設(shè)有12組程序，每組包含6個運行階段，每段增減速率設(shè)置范圍：100—2000rpm/s,每段時間范圍：0—60s。 2、樣品可采用真空吸附的方式進(jìn)行固定，也可采用粘結(jié)或夾持的方式進(jìn)行固定，操作簡便。 3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 6、電機采用24V直流無刷電機，無級調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強，維修與保養(yǎng)簡單，噪音低，震動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 7、當(dāng)用真空吸附方式固定樣品時采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。 8、可在惰性氣體氣氛（如Ar、N2）下進(jìn)行涂層 9、可在真空狀態(tài)下進(jìn)行涂層，此時需要用粘接基片或夾持基片的方式對被涂基片進(jìn)行固定。 10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。 11、全英文操作系統(tǒng)。 12、具有開蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止. 13、控制器采用控制箱，液晶顯示數(shù)值，更直觀可靠。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：220V 50HZ 2、功率：350W/24V 3、轉(zhuǎn)速：500rpm-6000rpm 4、可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段， 5、每段增減速率設(shè)置范圍：100 rpm s—2000 rpm /s，每段時間范圍：0-60s 6、吸盤規(guī)格：φ100㎜ 7、腔體真空度可達(dá)1Torr（VRD-8機械泵連續(xù)工作） | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：φ250mm×300mm；重量：25kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤φ100mm
| 1個 |
2 | 卡盤2” 3” 4”
| 1個 | |
3 | 無油真空泵
| 1臺 | |
4 | 雙擊旋片真空泵VRD-8
| 1臺 | |
5 | 中心定位器
| 1個 | |
6 | 滴膠注射器
| 1個 | |
可選配件 | VRD-16機械泵
進(jìn)口移液器
國產(chǎn)移液槍
其它尺寸的真空吸盤
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相關(guān)產(chǎn)品 | 移液器
| BD-10ml注液器
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ComBi-D3涂鍍層測厚儀
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| TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀
| SGC-10薄膜測厚儀
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