臭氧是一種強氧化性物質，被廣泛用于水處理，半導體等行業。臭氧發生器能夠產生20%甚至更高的濃度，過高的臭氧濃度對人體，設備和管道都是有害的，所以通常需要臭氧尾氣處理設備來處理多余的臭氧。美國IN USA公司生產的臭氧尾氣處理裝置可以分解臭氧，使之達到安全濃度(0.1ppm/8Hr day)。IN USA尾氣處理裝置采用催化方式，它是一種類放熱反應過程：
O3 ®3/2O2DH=-34kcal
催化劑參與反應但并不被消耗掉，它使反應速度加快。催化劑能提高效率是因為它可以反應所需要的激活能量，這種激活能量就是把臭氧原子帶到反應區重組成氧原子所需要的能量。IN USA公司采用以MnO2為基礎的化合物作為催化劑來實現這一功能，被催化的氣體在固體表面實現重組。催化反應的效率跟溫度，濕度等有關，也容易被一些化學物質干擾，產生中毒現象，從而降低了催化反應效率。有些化學物質，如鹵素、碳氫化合物、硫、磷、NOx會被催化劑吸附造成不可逆轉的反應從而使催化劑中毒，降低反應效率，減少使用壽命，所以在使用臭氧尾氣處理裝置前，確保這些物質已經被去除。
CAT系列臭氧尾氣破壞器特征
1、全焊接結構
2、安裝簡單
3、反應時間快
4、無耗材
CAT系列臭氧尾氣破壞器能夠安全的分解高濃度臭氧到亞ppm濃度級，遠遠低于推薦的安全臭氧濃度。該儀器使用金屬氧化物被動催化臭氧轉化為氧氣。CAT-O3系列臭氧破壞器的外殼由不銹鋼焊接而成，并配有熱屏蔽層。該設備的設計能夠滿足行業內嚴格的安全標準。
