日本富士fujiwork超薄薄膜測厚儀HKT-1216
消除測量者的偏差舒適,準確地測量1μm或更小的超薄膜
* 1線性度是
顯示是否可以與測量頭的位移量成比例顯示的比率。 位移量
為±0.2%
/ 100μm±0.2μm
位移量/ 500μm±1μm
位移量/ 1000μm±2μm
(測量誤差因位移量而異)
- 重復性/ 0.05μm
(使用升降器重復上下觸控筆) - 測量分辨率/ 0.01μm
- 線性度/±0.2%* 1
- 可以改變測量壓力(z小測量壓力0.14N)
- 米/ R30超硬球面
- 測量范圍/ 200μm * 2
- 測量架/測量表面Φ50陶瓷制成
- 輸出/模擬和RS232C
- 電源/ AC100V
- 選件/
?軟件?數(shù)據(jù)打印機?更換筆
·真空臺·外部置零開 * 2根據(jù)被測物體的材質,測量范圍可能會改變。
*注意* HKT-1240已因放大器單元的停產而停產。HKT-1216將替代HKT-1240。