ISO14644內容中規定了新的潔凈等級,根據每立方米含有大于或等于0.1μm粒徑的微粒數量定義潔凈級別。新的標準與行業中一直沿用美國聯邦標準209E系列有很多相似之處,但某些細節還是有顯著區分的。ISO明顯的改變是采用新的潔凈度等級名稱劃分,以ISON級(1≥N≥9)代替了熟知的1級、10級、100級。209E標準中,潔凈等級名稱體現的是具有一定粒徑的微粒的大可允許數量(表示為每立方英尺空氣微粒濃度),其基準粒徑為0.5μm。而ISO等級規定的是關注粒徑粒子的大允許濃度(表示為每立方米空氣的粒子數),蘇州電子廠房潔凈度測試其基準粒子≥0.1μm。兩者單位不同,經過計算可得1個每立方英尺的粒子濃度近似等于35個每立方米的粒子濃度,209E標準指出35個0.5μm微粒每立方米相當于1240個0.1μm微粒每立方米。從而近似得到兩個等級之間的轉換關系,ISO等級N=(209E英制單位)10N-3級,如:ISO4級=104-3=1級。必須注意的是,只有在關注粒子為0.5μm時,兩個標準對應才*一致。雖然有些人認為,其他關注粒子濃度在兩個標準轉化時差異不大,也沒有明文廢除209E對等級的規定,但從我國現行標準來看,已把ISO對潔凈度等級劃分的規定作為標準。蘇州電子廠房潔凈度測試
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