日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機
高速計算通過*的主動隔振算法執行，并且不使用空氣的超快速響應線性致動器和超靈敏的速度傳感器可立即消除振動。
由于空氣彈簧僅用于負載支撐，因此只要安裝了小型壓縮機和電源，使用安裝在地板側的超靈敏速度傳感器的前饋可提供世界上z高水平的隔振性能。
此外，與VAAV-L系列一樣，使用了z柔軟的空氣彈簧，從而實現了該系列中z高的隔振性能。
特點
- 振動傳遞特性無共振。
由于它配備了VAAV系列中z柔軟的空氣彈簧，因此可以實現該系列中z佳的隔振性能。 - 由于它是由線性電動機控制的，因此消耗的空氣更少。（相當于被動隔振表）
- 特別針對對振動敏感的精密測量設備的振動隔離措施以及針對低頻振動較大的安裝環境進行了優化。
- VAAV系列中z高的性價比。
- 振動波形顯示分析軟件是標準設備。
用途
- 使用電子顯微鏡，可以防止高倍率圖像因振動而模糊。該有源隔振臺對于不喜歡無法通過被動隔振臺*消除的低頻振動的顯微鏡有效。
- 它用作對振動特別敏感的設備（例如掃描隧道顯微鏡，原子間力顯微鏡和光學測量設備）的振動對策。
- 低頻振動大的安裝地面環境的防振措施
日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機
| 模型 | 可安裝質量（1個單位） | 尺寸（1個單位） |
|---|---|---|
| VAAV-1000S | 500-1700公斤 | 190（寬）x 190（深）x 178（高）mm |
| 控制器 SEC-03 | 335（寬）x 410（深）x 130（高）mm |
|---|---|
| 控制自由 | 3軸6自由度 |
| 振動傳遞函數 | 參見下面的圖1和圖2 |
| 所需氣源 | 0.5MPa以上消耗流量相當于被動 |
| 需要電源 | AC100V-240V 200VA（單相） |
| 控制方式 | 速度反饋，地板前饋 |
| z大推力 | 水平方向：20N垂直方向：40N注）4個單位使用時 |
| 產生的磁場 | 0.04μT以下注）距本機150mm處的交流磁場 |
