美國METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器

METONE 341適用于半導體潔凈室監測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有ISO 21501數據準確性和再現性，是業內潔凈的 0.1um 微粒。

可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染
熱插拔電池確保儀器長時間連續運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時都無需停機
測試向導（Test Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規性更容易得到保證
可在監控您的半導體生產環境時節省時間并消除錯誤

順序采樣系統
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統部署低成本的現場監控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個位置進行順序采樣。
靈活的通訊方式——設置簡單，數據傳輸方便
供選擇的無線，以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統，或者客戶已有監控軟件，以便減少文書工作

直觀的用戶界面
簡便的區域，位置和運行參數的配置和復制，節約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數設置錯誤，并節省時間。還可以在整個顆粒計數組部署采樣計劃！

符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
于滿足特殊顆粒計數要求，儀器與儀器之間的準確度和再現性*符合 ISO21501-4標準要求。

美國METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器

通道個數          6
粒徑                0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源                氦氖激光器
重量                不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤
尺寸                33 W 55.9 D22.9 H cm (寬 x 長 x 高)
機箱材質          便于清洗的鈍化不銹鋼
流速                1.0 CFM (28.3 LPM)
零計數             ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標準:5分鐘內1顆或少于一顆, 95% 置信區間
符合損失         在 50,000 /ft3 時，為5%，符合ISO 21501-4標準
泵的類型         可供連續使用的多瓣閉路循環控制泵
計數效率         在0.1 µm時為 50%。根據ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時為
運行溫度         10 至 40°C; 相對濕度為10 至 90%，無冷凝
顯示 ¼           VGA 彩色 TFT 觸摸屏
打印機            高速熱敏打印機
語言               英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語*，日語*，中文
可以顯示的數值     9,999,999 displayed
延遲時間              15秒鐘至23小時59分59秒
采樣/停留時間      1秒鐘至23小時59分59秒
計數                    1~ 9,999,999 個計數值
位置                    編號：0 至 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上
數據存儲             5,000 個樣品， 在歷史數據查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow)
輸出                   USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協議的以太網配有802.11g通訊協議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統 (掃描探頭)
鋰電池                可充電、可熱插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
輸入                   空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭
自動                   CDA 清洗 連接到CDA之后，清洗電磁閥會被激活
電源                   24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
電池類型             智能鋰電池，可充電，可熱插拔
電池使用時間      短 3 小時
電池的充電時間   電池的充電時間
包含電池數量      2組