日本JFC精密陶瓷粉碎介質高純度氧化鋁微珠
氧化鋁（Al2O3）
氧化鋁（Al2O3）是精密陶瓷中z常用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。
電絕緣性
耐磨耗性
耐熱性
耐腐蝕性
耐等離子性
主要用途
半導體制造設備部品（腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤）
粉碎機部件（分級機、氣流式粉碎機、珠磨機）
一般產業用部件（激光加工機噴嘴、轉軸、軸承）
高精度用，精密用，耐熱用冶工具（定位治具、裝配夾具）
耐磨耗部件（拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌）
電絕緣部件（絕緣子、墊片、襯套）
特點
氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷，利用其優異的電絕緣性能，早期開始即應用在電子部品上，使用量較多，是精密陶瓷中成本z低的材質。
我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異，可生產大型產品。
此外，由于其具有優異的耐等離子特性，也可用于ＣＶＤ設備或蝕刻設備的部件。
日本JFC精密陶瓷粉碎介質高純度氧化鋁微珠
氧化鋁
| 型號 | 特點 | 密度 | 楊氏彈性模量 | 彎曲強度 | 斷裂韌性 | 熱膨脹系數 | 熱傳導率 | 體積電阻 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| [g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa?m1/2] | [×10-6/K] | [W/m?K] | [Ω?cm] | ||
| ALP01 氧化鋁99.5% | 用途廣泛 高剛性 | 3.9 | 370 | 440 | 3～4 | 6.3 | 33 | ＞1014 |
| ALP02 氧化鋁99.9% | 高純度 高剛性 | 3.9 | 370 | 450 | 3～4 | 6.3 | 30 | ＞1014 |
熱膨脹系數為RT～200℃時的測量數據。
