工業光氧等離子廢氣凈化優點：
①能耗低，可在室溫下與催化劑反應，無需加熱，極大地節約了能源；
②使用便利，設計時可以根據風量變化以及現場條件進行調節；
③不產生副產物，催化劑可選擇性地降解等離子體反應中所產生的副產物；
④不產生放射物；
⑤尤其適于處理有氣味及低濃度大風量的氣體。
工業光氧等離子廢氣凈化一個TiO2光催化過程主要由兩個步驟組成。首先光子能量被TiO2半導體光催化劑所吸收，導致價帶的電子被激發到導帶，并在價帶留下一個空穴。然后光生電子空穴對會遷移到TiO2催化劑的表面。在這個過程中會有部分的電子和空穴復合以熱或光的形式將能量釋放。剩下的電子和空穴會與吸附在TiO2表面的電子受主和電子施主反應，促成整個氧化還原反應。我們通過（貴金屬）摻雜、表面敏化、構造復雜結構催化劑等手段來有效的拓寬TiO2的光吸收譜的范圍及提高其可見光響應效率。
放電產生的光氧等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的有機氣體分子作用，反應快，納秒級別，不受氣速限制，能高效去除揮發性有機物（VOC）、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，脫臭效率高，保證處理后廢氣達標排放。
光氧模塊優質選材：選取優質合成石英管和貴金屬，確保了所有組塊的高質量，并促進新的開發以滿足特殊的需要。組塊只有以佳的方式和電源設備匹配，才能確保整體系統的佳性能。主要性能指標如下：羥基含量≤8ppm;主要雜質含量之和≤50ppm;254紫外線透過率≥90。陶瓷燈頭、抗氧化、耐輻射。
