常州電子廠廢氣處理針對電子行業VOCs排放特點采用相應末端治理技術，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%以上。沸石濃縮轉輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉輪，廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區，使VOCs得到濃縮，再經脫附燃燒處理，去除效率可在98%。但是相對來說投資就比較高了，有很多的企業無法接受動輒上百萬的廢氣處理投資。目前在電子行業中經常被使用的到的廢氣處理技術包括：液體吸收法、活性炭吸附法、燃燒法、低溫等離子法、催化燃燒法、生物分解法等，電子廠所產生的主要污染物為苯、甲苯、二甲苯丁酮、乙酸乙酯等有機廢氣，這也是PM2.5的來源之一。電子工業從產品來分的話，自上而下可以分為電子整機產品和電子基礎產品，還有電子材料等三個部分，其中包含有：光電器件、半導體器件、電子元件及電子終端產品等方面。電子廠廢氣的主要來源是對電子產品的表面涂層工藝環節所用溶劑型涂料和清洗工藝環節所用有機溶劑所致。電子工業廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯方等。
常州電子廠廢氣處理的幾種方法進行簡單介紹一下：
1、焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣；
2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求；
3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態廢棄物需要進一步處理。該方案與生產設備、生產工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果；
4、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數十倍強度）在設備內，強裂解惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等；
5、高溫等離子凈化法：經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質原子，有機物凈化率在90%左右。
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