工業惡臭廢氣處理設備是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
等離子凈化器設備是由電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對有害廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。等離子凈化器利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使有害廢氣經多級凈化后達標排放。
工業惡臭廢氣處理設備集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的有效處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量更小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，*去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。
