UV光氧廢氣催化氧化裝置中對有機揮發性廢氣首要進行光解與催化氧化。光解首要是通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣發作分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。
UV光氧廢氣催化氧化裝置：使用小于280nm的波長，通常使用185nm的UVC紫外線光源進行廢氣處理。主要原理是短波紫外光子攜帶的能量很強。 315nm?280nm的中波紫外線的能量強度為3.94eV?4.43eV。 280nm?100nm的短波紫外線的能量強度為4.43eV?12.4eV。紫外線光子轟擊有機物的分子鏈，使分子鏈斷裂并斷裂。有機成分會與氧氣，臭氧等發生反應，產物為無害物質，例如CO2和H2O。
紫外線uv光氧催化設備除臭設備：類似于紫外線光解設備，也有一種光催化氧化技術。該設備使用光氧催化劑通過紫外線（通常是波長低于365 nm的光源）的照射產生電子空穴。吸附在電子空位分解催化劑的表面上的水產生羥基自由基或將周圍的氧還原成活性離子氧，從而具有強的氧化還原能力并分解光氧化催化劑表面上的各種污染物。光催化氧化技術采用光源波長長，可散射距離長，有效凈化面積覆蓋的空間大，但光催化劑易中毒而失效的問題。
光氧催化技能是在外界可見光的作用下發作催化作用，以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為CO2和H2O及其它無毒無害成份，廢臭氣體通過處理后可到達凈化的更理想的作用。因為在光催化氧化反響過程中無任何增加劑，所以不會發作二次污染，運轉本錢方面僅僅用到電能，無需常常替換配件，所以后期運行和維護成本也不高。
