光氧催化燃燒設備把有機廢氣加熱升溫至800℃，使廢氣中的VOC氧化分解，成為無害的CO2和H2O；氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來，用于預熱新進入的有機廢氣，從而節省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。有機廢氣經高壓引風機進入蓄熱室的保留了上一循環熱量的陶瓷介質層后，陶瓷釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高。廢氣離開蓄熱室后，以較高的溫度進入燃燒室，準備進行氧化。
光氧催化燃燒設備
在燃燒室中，有機廢氣再由燃燒器加熱燃燒，加熱升溫至設定的氧化溫度，此時溫度同樣為設定的800℃，使有機物被分解成二氧化碳和水。由蓄熱室排出。在此同時，由廢氣引風機抽出少許前一循環殘留在蓄熱室中的微量有機氣體，再送至燃燒室中進行焚燒，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室，經熱回收設備排入大氣。
工作原理及流程：催化凈化是典型的氣固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化凈化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物的方法。
吸附法關鍵適用較低濃度的煤層氣氣體空氣污染物的凈化，濃度較高的有機化學煤層氣汽體在吸附凈化前必須減少濃度值。吸附技術是經典、常見的有機廢氣處理技術，也是工業化生產中的流行技術之一。吸附法的核心技術是吸附劑、吸附機設備和加工技術、再制造材料和后處理技術。活性炭具有較大的比表面積和微孔結構，廣泛應用于有機氣的吸附和回收。現階段，活性炭吸附有機廢氣的科學研究關鍵集中化在吸附平衡的預測分析、活性碳原材料的改性及其有機化合物的理化性質對活性炭吸附特性的危害。
一般工業廢氣處理包括了有機廢氣處理、粉塵廢氣處理、酸堿廢氣處理、異味廢氣處理和空氣殺菌消毒凈化等方面,工業廢氣處理要區別民用場所空氣凈化,要能有效去除工廠車間產生的苯、甲苯、二甲苯，醋酸乙酯，丙酮丁酮，乙醇，丙烯酸，甲醛等有機廢氣，硫化氫，二氧化硫，氨等酸堿廢氣處理。
