光氧廢氣處理設備作為大氣污染的重要來源，工業廢氣的高校治理尤為重要。由于生產的工藝不同，工業廢氣產生的污染物種類也不同，不同污染物種類應采用不同的處理工藝。目前，市場上常見的工業廢氣治理技術主要有：干法脫硫、濕法脫硫、物理/化學吸收法、煙氣脫硝、稀釋法、堿液中和法等等, 由于使用不同的吸收劑可獲得不同的副產物而加以利用，因此濕法脫硫是各國研究多的方法。由于工業廢氣的成分越來越復雜，單一的廢氣處理技術方法很難達到理想的處理效果。業內人士認為，綜合兩種或兩種以上處理技術，以及占地空間小、處理效率高的設備將受到市場關注。
光氧廢氣處理設備
采用低溫等離子催化技術+納米技術，在水中產生大量羥基自由基氧化分解大量有機廢氣，其終生算作物是CO²、H2O和無害羧酸。氧化催化劑為貴金屬氧化物，氧化劑在催化劑的浸染下，發生氧化性*的羥基自由基（OH），這些自由基可分化幾乎所有有機物，將其所含的氫（H）和碳（C）氧化算作水和二氧化碳。除電耗、水耗外，不用耗其他原料，不帶來二次污染，無需二次措置
等離子凈化器技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有強潛在優勢的*，等離子體受到了相關學科界的高度關注。
