價格電議
美國 HVA 高真空閘閥 超高真空插板閥 11000 系列
上海伯東美國 HVA 真空閘閥 真空插板閥 11000 系列滿足高真空和超高真空應用, 清潔和高密封性保證 HVA 真空閘閥 與前級泵, 渦輪分子泵聯(lián)用.
HVA 不銹鋼高真空閘閥 真空插板閥 11000 系列產品特點
高真空和超高真空, 閥門主體和內部組件采用不繡鋼材質
閥門口徑 DN 16 - 800 mm , 手動或氣動驅動
不繡鋼焊接波紋管, 標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
溫度 250°C
堅固耐用, 達到設定的真空度時, 氣動閥門自動開閉, 有purge 接口
全部美國設計, 制造, 組裝, *
HVA 高真空閘閥 超真空插板閥 11000 系列技術參數
閥門材質: | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
- 超高真空 | 銅墊圈 / 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關閉 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 開啟前大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
- 佛橡膠密封 | 150 °c, 可選配置大 250 °c |
- 銅墊圈密封 | 閥門關閉 200 °c, 閥門打開 150 °c |
- 驅動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
- 氣體 | 80 psig (5.5 bar) |
- 電磁 | 4.0 Watts |
- 供電 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,大 | 115 VAC |
使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 16 - 800 mm | |
美國 HVA 11000 系列高真空閘閥有正面鎖定的中心裝置或一個軟封的氣動閘（可選擇的) , 閥門保持關閉狀態(tài)以防空氣壓力損失, 11000 系列真空閘閥*的氣缸設計保證低的沖擊和振動, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè). HVA不銹鋼真空閘閥提供了業(yè)界小的內部接口. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的大完整性,效消除了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門手動, 三種驅動方式可選, 或定制法蘭滿足不同應用. 美國 HVA 真空閘閥 11000 系列可任意位置安裝.
HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例一
上海伯東客戶某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng), 采用美國 HVA 真空閘閥 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和渦輪分子泵 Hipace 80 成功分析生長晶體表面結構.
HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例二
美國 HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用
半導體管道插板閥應用示意圖 現(xiàn)場圖
HVA 標準周期真空閘閥 11000 系列組成:
美國 HVA 真空閥門-美國大真空閥門制造商. 美國 HVA *真空閥門, 超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造. 主營高真空閘閥, 超高真空插板閥廣泛應用于半導體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等領域. 上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區(qū)總代理商。
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請聯(lián)絡上海伯東羅先生
