一、產品介紹：

   FH-12C專為腐蝕性氣體抽空設計的四級化學隔膜泵。FH-12C具有獨立八個泵頭作為抽力的來源，同時具有抽氣速度大和達1.5mbar的超高極限真空的優點。所有與被抽氣體接觸部件均由耐酸堿的鐵氟龍材料制造，具的較強的化學耐腐蝕性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夾層結構的膜片增強了其可靠性和延長了其操作壽命。

   FH-12C配備氣鎮口，在使用氣鎮時極限真空仍然能達到2mbar，氣鎮口除了作氣鎮使用，還可以用來輸入惰性氣體清洗腔室、膜片、閥片等，有效提升易損件的使用壽命；

   FH-12C控制系統采用自主研發的高靈敏度的PID控制器和變頻器進行控制，控制精度達到0.1mbar；變頻器工作時非常安靜且根據過程需要可實時調節轉速，因此*地降低了能量消耗和維護需求

   控制器使用大尺寸的電阻觸摸屏， 具有友好、簡單易懂的操作畫面。具備以太網口通訊接口和RS32通訊接口。

   FH-12C使用的是電容式陶瓷薄膜傳感器，這種測試方法不依賴于氣體種類，且具有出色的耐化學腐蝕能力。

二、性能特性

適用環境：抽取化學腐蝕性的氣體或蒸汽

• 采用PTFE材質“三明治”夾層結構的膜片，超長的使用壽命。
• 內部管路及附件都是采用耐酸的材質。
• 維修間隔超長，維護成本低。
• 平滑的表面，易于清潔。
• 全新的密封系統，降低了漏率，可獲得更好的極限真空。