實驗室廢氣處理設備放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
實驗室廢氣處理設備
廢氣源集氣罩(搜集車間各個廢氣源的廢氣，接入主管道)噴淋吸收塔(吸收掉能溶于水的無機廢氣、粉塵以及顆粒物，降低廢氣溫度，為等離子提供優良的運行環境)一級低溫等離子處理設備(破壞廢氣分子結構，轉化為無污染物質)高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)凈化吸收塔(進一步吸收粉塵以及顆粒物以及一些無機氣體，水洗小分子碎片，利于檢測達標)煙囪高空排放(也可低空排放)。
利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。
*臭氧對有機物具有*的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有*的清除效果。工業廢氣利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
