低溫等離子設備處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
低溫等離子設備的優勢：
1) 清潔能源，無二次污染，能滿足節能環保的需要。處理量大、操作簡單的環保新技術來處理有毒及難降解物質。
2) 處理：有效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，脫臭效率高。
3) 無需添加任何物質：只需要設置相應的排風管道和排風動力。
4) 24小時連續工作，運行穩定可靠。
5) 運行成本低，無需專人管理和日常維護，只需做定期檢查，能耗低。
低溫等離子設備低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在_短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
