高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機 TEMD500產(chǎn)品概述
1、適用：大專院校、科研院所及企業(yè)進行薄膜新材料的科研與小批量制備。
2、產(chǎn)品特點/用途：
?設(shè)備一體化設(shè)計，占地面積小，性價比高，性能穩(wěn)定，使用維護成本低；
?適用于實驗室制備金屬單質(zhì)膜、半導體膜、有機膜，也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等；
?適用于制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等。
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機 TEMD500
| 型號 | TEMD500 |
| 真空腔室結(jié)構(gòu) | 立式圓柱形側(cè)開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng) |
| 真空腔室尺寸 | Φ500×H650mm |
| 加熱溫度 | 室溫～300℃ |
| 旋轉(zhuǎn)基片臺 | 平板型Φ200mm |
| 膜厚不均勻性 | ≤±5.0% |
| 考夫曼離子源 | 可選 |
| 蒸發(fā)源 | 電子槍8KW，6穴坩堝 國產(chǎn)進口可選，配3-3組電阻蒸發(fā) |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統(tǒng) |
| 占地面積 | 長×寬 L2500×W1600mm |
| 總功率 | ≥17KW |
北京泰科諾科技有限公司自2003年成立以來，一直專注于真空設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計、制造，是一家集真空薄膜新材料沉積設(shè)備、真空技術(shù)應用設(shè)備等相關(guān)設(shè)備及其工藝的研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售、服務于一體的*。
公司的研發(fā)中試孵化基地位于毗鄰雄安新區(qū)的任丘經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，距離未來的雄安高鐵站約20公里，占地面積20000㎡,不僅建有包括機加工、電氣、結(jié)構(gòu)組裝，調(diào)試等多個中試生產(chǎn)車間和辦公樓以及其它輔助廠房；同時建有研發(fā)工藝、服務客戶的開放實驗室。公司還聘請了國內(nèi)外真空行業(yè)zi深的專家、教授作為本公司的技術(shù)顧問，確保真空設(shè)備產(chǎn)品高水平，始終保持較強的自主研發(fā)能力、*的設(shè)計概念、領(lǐng)xian的技術(shù)優(yōu)勢。
