超凈間之
(一)超凈間之定義
超凈間(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。
「超凈間」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內氣壓、氣流速度、氣流分布、噪音、振動、照明及靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求,可概稱這種空間為超凈間,也稱為無塵室或清凈室
世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
209E與209D等zui大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,超凈間等級以`M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者*冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,的等級為Class 1,zui差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。
(三)超凈間控管之項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子之產生。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調節。
5. 有害氣體之排除。
6. 結構物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁干擾預防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節能之考量。