激光光譜原位分析儀(LIBSOPA-100)是激光誘導擊穿光譜分析技術（LIBS）和原位統計分布分析技術（OPA）***結合的新型分析儀器。激光誘導擊穿光譜原位統計分布分析技術(LIBSOPA)通過高能激光聚焦于樣品表面，樣品被擊穿形成高溫等離子體，通過檢測等離子體光譜信號，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術。其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體，等離子體光線經過濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測系統檢測。根據光譜特征譜線波長得出被擊穿位點的元素種類;定標后對應譜線的強度表示被擊穿位點元素的濃度。借助精密三維移動平臺在樣品激發表面很好的***和記錄，實現任意點掃描，一維線性掃描，一維深度分析和二維面掃描分析，并據此獲得與材料原位置相對應的各元素原始含量及狀態信息，可以用統計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。該方法不但有激光光譜的非接觸分析，微區分析，深度分析的優點，又具備原位統計分布分析技術的原位性和統計性。LIBSOPA-100的研制成功為材料成分分析，缺陷分析，涂鍍層等樣品的分析應用提供了新的技術手段及質量判據。

1.  *LIBS技術與OPA技術結合的新型分析儀器，多項技術。
2.  多元素同時分析。28個元素通道，包含C,P,S元素，線性關系良好；
3.  預剝蝕時間，積分時間，門控延遲時間動態可調。
4.  分析簡便、快速，無前處理過程，避免樣品被污染；
5.  分析不受樣品尺寸，狀態，導電性，難熔與否的影響；
6.  LIBS具有高靈敏度與高空間分辨率，非常適合涂層材料、薄膜材料分析；
7.  微小燒蝕光斑可進行局部微區分析，表面微損分析，適合材料缺陷分析；
8.  非接觸測量，響應迅速，分析時間短，可滿足實時分析以及在線分析的要求。

激光光譜原位分析儀技術參數

激光光源
Continuum SureliteTM III－10 YAG激光器
波長：1064 nm
能量：800
脈寬：4～6 ns
光束發散角：0.6 mrads
真空光學系統
巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm
高發光全息光柵，刻線為2400條/mm
譜線范圍：170 ~ 800 nm
色散率
    一級色散率：0.55 nm/mm
    二級色散率：0.275 nm/mm
分辨率：優于0.01 nm
標準檢測通道數量：25個
樣品掃描***系統
三維工作臺
    行程：X軸75mm，Y軸75mm，Z軸100mm
    數控步進電機驅動
    位置重復精度為0.01mm
    工件***重量：12Kg
CCD成像系統
聯合數控工作臺實現樣品的***和觀察
視場大小：2～10mm
聚焦精度：0. 1mm
電源要求
220V/20A
外形尺寸
寬×深×高（105 cm×66 cm×120 cm）
重量
毛重約400 Kg
工作環境
溫度：18～29℃
濕度：≤60%