光催化法是近些年被開發出來的一種新型的廢氣處理技術，其原理是在催收設備內，高能紫外線光束與空氣、TiO2反應產生的臭氧、·OH(羥基自由基)對惡臭有機氣體進行協同分解氧化反應，同時大分子有機氣體在紫外線作用下使其鏈結構斷裂，使惡臭有機氣體物質轉化為無臭味的低分子化合物或者*氧化，生成水和CO2，整個分解氧化過程在1秒內完成。其反應過程如下：
TiO2 + hv → h+ +e- （1） | h+ +e- → 熱能 （2） |
h+ + OH- →·OH （3） | h+ + H2O →·OH + H+ （4） |
e- +O2 → O2- （5） | O2 + H+ → HO2· （6） |
2 H2O·→ O2 +H2O2 （7） | H2O2 + O2 →·OH + H+ O2 （8） |
·OH+dye→···→CO2+H2O （9） | H+ + dye →···→ CO2 + H2O (10) |
催化工藝原理如下圖所示：
圖3-3 光催化設備工藝原理圖解
由圖可知，光催化法只消耗電能，塔內的高能紫外線光束與空氣、TiO2反應產生的臭氧、·OH(羥基自由基)對惡臭有機氣體進行協同降解反應，可有效將其分解為CO2和H2O后排放到空氣中，既達標排放，也消除了氣體的惡臭。
適用范圍：
光催化適用于煉油廠、橡膠廠、皮革廠、印刷廠、化工廠、制藥廠、金屬鑄造廠、塑料再生廠、噴涂溶劑等有機和無機物惡臭氣體的脫臭凈化處理；噴漆(涂)車間、化工、醫藥、橡膠、食品、印染、造紙、釀造等生產過程中產生的有毒有害廢氣也可使用光催化處理。
