class100光刻膠聯網無塵烘箱 *
過程管理。控制方便、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構造,大大提高生產效力!
智能烘箱過程管理描述:
1.> 工廠系統,選擇烘烤工藝,啟動/停止烘箱;
2.> 工廠系統根據,過程判斷待烤料件工位,記錄反饋工位信息;
3.> 系統控制開/關門等動作;
4.> 系統記錄并處理各種烘箱異常事件。如:超溫,氮氣不足,含氧量超標、門未關到位;
5.> 實施記錄各種相關數據,如,溫度,料件ID,工藝信息
智能烘箱主要參數介紹:
溫度范圍:室溫+20℃~300/400/500/600℃
均勻度:±1.5%
潔凈等級:Class10 Class100(潔凈度要求可根據客戶需求配置)
含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根據客戶需求配置)
升溫速度:常溫~+600℃,升溫速率:0~7℃/min,升溫斜率程序可控
降溫速度:降溫斜率程序可控,500℃~300℃約3~5℃/min,300℃~120℃約1~3℃/min,120℃~65℃約0.5~1℃/min
控制系統優勢介紹
控制系統 | 工控電腦+歐姆龍PLC | |
權限 | 給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼; | |
給每個操作者,自定義分配權限(如:啟動,停止,調取工藝,調試,查看報表……) | ||
記錄當前操作者的所有操作記錄; | ||
控制方式切換 | 本地模式 | 由操作者,創建工藝、選擇工藝、執行; |
遠程模式 | 客戶系統發送運行工藝指令。支持:MES, SECS/GEM (其他系統,可溝通開發) | |
數據信息(數據信息可以存10年以上!) | 運行工藝信息記錄 | |
運行數據記錄(如:溫度、時間、含氧量、氣體流量、壓力……) | ||
事件記錄(開/關門事件、運行/停止事件、報警事件、故障事件) | ||
通訊記錄(與客戶系統通訊記錄) | ||
操作記錄(操作者操作記錄,如:登錄,注銷,故障處理……) | ||
故障信息顯示 | 通訊故障 | |
加熱斷線 | ||
循環風機故障 | ||
氣體管路故障 | ||
異常處理 | 上偏差報警、下偏差報警、上偏差報警停機、上限報警、上限報警停機;(控制點和采樣點) |
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