等離子光氧一體機工作原理：
當廢氣進入等離子光氧一體機內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。然后部分有機廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無害無味氣體。采用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，強化催化氧化作用。
在分解過程中產生高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),*臭氧對有機物具有*的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有*的效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺的目的。
等離子光氧一體機可用于石油化工、制藥行業、飼料和肥料加工廠、畜牧產品農場、化纖廠、皮革廠、制漿廠、污水泵站、各類污水處理廠、涂料、食品填加劑廠、皮革加工、感光材料、汽車制造以及公廁、糞便轉運站等諸多行業存在的有機廢氣、異味、惡臭等污染問題。既可應用于工業廢氣的治理，也可應用于室內空氣凈化等，是一項用途極為廣泛的新型空氣環境潔凈技術產品。
