晶圓容積70L無塵無氧箱SECSGEM系統(tǒng)烘箱
普遍應(yīng)用于航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
主要特點(diǎn):箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節(jié)能等特點(diǎn),優(yōu)良的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng),確保爐箱溫度均勻,吸風(fēng)口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。
一、無塵烘箱特點(diǎn):
1.采用智能控制系統(tǒng),可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求,操作方便!
2.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100;
3.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免
烘烤時產(chǎn)生PARTICLE;
5.美國進(jìn)口H.E.P.A 裝置,過濾效率99.99%,Class 100,
6.完善的保護(hù)措施,漏電斷路器/超溫保護(hù)/欠相保護(hù)/馬達(dá)過載電流保護(hù)/機(jī)臺異常蜂鳴器
安全可靠!
二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
1.電源:AC380V 3φ 50Hz
2.無塵等級:Class 100;
3.溫度范圍: 常溫+60~250℃;
4.溫度均勻度:±1.5% (空載)
5.升溫速度:>5℃/min ,升溫斜率可控,升溫速度可以通過加熱系統(tǒng)控制調(diào)節(jié)。
6.降溫:風(fēng)冷夾層降溫,200℃~ 120℃,3.5度/分鐘,120℃~ 65℃約1.5度/分鐘。
7.電磁鎖:啟動設(shè)備運(yùn)行中,電磁門鎖鎖門,運(yùn)行未結(jié)束,人工不能開門。
三、*可靠的測控系統(tǒng)
溫控裝置:智能控制系統(tǒng),歐姆龍PLC+PC工控(可聯(lián)網(wǎng),對接MES及SECSGEM)
程式編輯:可預(yù)編120個程式,每個程式可編99段,共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
六點(diǎn)溫度記錄
四、規(guī)格尺寸多種可選(也可根據(jù)客戶尺寸定制)
型號 | 工作尺寸(mm) | 功率 |
COL-1-PC | W450×H350×D450 | 3.5Kw |
COL-2-PC | W450×H700×D450 | 5.5Kw |
晶圓容積70L無塵無氧箱SECSGEM系統(tǒng)烘箱