橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應的測試方法和設備也不斷地被改進和創新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應用在光學、材料、生物、醫學等各個領域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數是橢圓偏振法基本、重要的應用之一 。
自動橢圓偏振測厚儀儀器特點：
●儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
●精度高、自動控制
●光源采用氦氖激光，波長精度高
●儀器采用USB接口與電腦連接
●配套軟件對采樣數據具有多種處理方式，適用于不同需要
●軟件有完整版及學生版兩種版本，適于教學要求
自動橢圓偏振測厚儀的主要技術指標：
| 編號名稱參數1測量范圍1nm～4000nm2測量小值≤1nm3鍍膜折射率范圍1.300～10.0004入射角40°～90° 誤差≤0.05°5偏振器方位角讀數范圍0°～180°6偏振器步進角0.0375°/步7測量精度±0.5nm（10nm，±0.5nm）8光學中心高度75mm9工作臺直徑φ10mm～φ120mm10厚度≤10mm |
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