Edwards愛德華XDS干式渦旋泵具有創新的軸承罩,可將真空環境與所有形式的潤滑劑隔離開來,創造了一個*靜態密封和*無油清潔的真空環境。針對稀有氣體再循環和氣體回收等應用,Edwards XDS35iNGB 選配型移除了氣鎮。
C 型是改進型,更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質的應用。這個耐化學腐蝕的版本是基于Chemraz內閥以及不銹鋼材料的出氣口。
XDS46i 與 XDS35i 有許多共同特性,但前者的峰值抽速達到 40m3h-1。該泵針對zui大抽速 (入口壓力介于 1 mbar 至10 mbar 之間) 進行了優化,使其完美適用于渦輪分子泵的前級泵。
XDS35i增強版(XDS35iE)具有雙入口和旁通閥技術,使其能夠處理標準XDS35i泵工作范圍以外的應用,例如防止在較高操作壓力和較大吞吐量時氣體在渦旋裝置中的過度壓縮。XDS35iE能夠在不受真空室大小或循環抽氣頻率限制的情況下工作。這給我們的客戶提供了更多從XDS渦旋干泵技術中受益的機會。
Edwards愛德華XDS干式渦旋泵產品特點:
* 軸承罩:可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離,以確保清潔的真空環境,并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中,從而延長軸承的使用壽命。
* 變頻器驅動:范圍內泵性能*相同、泵過載保護和遠程啟動/停止功能特性。
* 高流量氣鎮特性:可實現以zui高 240 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。
* *的軸向氣隙電機:減小了整體泵尺寸,并且降低了功率和噪聲。
* 簡單的單端雙渦旋設計:可實現在幾分鐘內完成維護工作,從而降低運行成本并盡可能延長正常運行時間。