激光光譜原位分析儀(LIBSOPA-100)是激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析技術(shù)（LIBS）和原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)（OPA）完美結(jié)合的新型分析儀器。激光誘導(dǎo)擊穿光譜原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)(LIBSOPA)通過(guò)高能激光聚焦于樣品表面，樣品被擊穿形成高溫等離子體，通過(guò)檢測(cè)等離子體光譜信號(hào)，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術(shù)。其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體，等離子體光線經(jīng)過(guò)濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)。根據(jù)光譜特征譜線波長(zhǎng)得出被擊穿位點(diǎn)的元素種類(lèi);定標(biāo)后對(duì)應(yīng)譜線的強(qiáng)度表示被擊穿位點(diǎn)元素的濃度。借助精密三維移動(dòng)平臺(tái)在樣品激發(fā)表面很好的定位和記錄，實(shí)現(xiàn)任意點(diǎn)掃描，一維線性掃描，一維深度分析和二維面掃描分析，并據(jù)此獲得與材料原位置相對(duì)應(yīng)的各元素原始含量及狀態(tài)信息，可以用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。該方法不但有激光光譜的非接觸分析，微區(qū)分析，深度分析的優(yōu)點(diǎn)，又具備原位統(tǒng)計(jì)分布分析技術(shù)的原位性和統(tǒng)計(jì)性。LIBSOPA-100的研制成功為材料成分分析，缺陷分析，涂鍍層等樣品的分析應(yīng)用提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù)。1.  *LIBS技術(shù)與OPA技術(shù)結(jié)合的新型分析儀器，多項(xiàng)技術(shù)。2.  多元素同時(shí)分析。28個(gè)元素通道，包含C,P,S元素，線性關(guān)系良好；3.  預(yù)剝蝕時(shí)間，積分時(shí)間，門(mén)控延遲時(shí)間動(dòng)態(tài)可調(diào)。4.  分析簡(jiǎn)便、快速，無(wú)前處理過(guò)程，避免樣品被污染；5.  分析不受樣品尺寸，狀態(tài)，導(dǎo)電性，難熔與否的影響；6.  LIBS具有高靈敏度與高空間分辨率，非常適合涂層材料、薄膜材料分析；7.  微小燒蝕光斑可進(jìn)行局部微區(qū)分析，表面微損分析，適合材料缺陷分析；8.  非接觸測(cè)量，響應(yīng)迅速，分析時(shí)間短，可滿(mǎn)足實(shí)時(shí)分析以及在線分析的要求。激光光譜原位分析儀技術(shù)參數(shù)激光光源Continuum SureliteTM III－10 YAG激光器波長(zhǎng)：1064 nm能量：800脈寬：4～6 ns光束發(fā)散角：0.6 mrads真空光學(xué)系統(tǒng)巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm高發(fā)光全息光柵，刻線為2400條/mm譜線范圍：170 ~ 800 nm色散率    一級(jí)色散率：0.55 nm/mm    二級(jí)色散率：0.275 nm/mm分辨率：優(yōu)于0.01 nm標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)通道數(shù)量：25個(gè)樣品掃描定位系統(tǒng)三維工作臺(tái)    行程：X軸75mm，Y軸75mm，Z軸100mm    數(shù)控步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)    位置重復(fù)精度為0.01mm    工件大重量：12KgCCD成像系統(tǒng)聯(lián)合數(shù)控工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)樣品的定位和觀察視場(chǎng)大小：2～10mm聚焦精度：0. 1mm電源要求220V/20A外形尺寸寬×深×高（105 cm×66 cm×120 cm）重量毛重約400 Kg工作環(huán)境溫度：18～29℃濕度：≤60%