真空除氧器是一種使水在真空下低溫沸騰，脫除水中含有的氧氣、氮氣、二氧化碳等氣體的設備，由除氧水箱（除氧塔）和真空機組兩大部分組成，除氧水箱可以高位或低位布置，真空泵機組可采用以蒸汽作動力的蒸汽噴射泵，或以循環水為工作介質的水噴射泵。
在鍋爐給水處理工藝過程中，除氧是一個非常關鍵的一個環節。氧是給水系統和鍋爐的主要腐蝕性物質，給水中的氧應當迅速得到清除，否則它會腐蝕鍋爐的給水系統和部件，腐蝕產物氧化鐵會進入鍋內，沉積或附著在鍋爐管壁和受熱面上，形成難溶而傳熱不良的鐵垢，而且腐蝕會造成管道內壁出現點坑，阻力系數增大。管道腐蝕嚴重時，甚至會發生管道爆炸事故。規定蒸發量大于等于2噸每小時的蒸汽鍋爐和水溫大于等于95℃的熱水鍋爐都必需除氧。多年來眾多鍋爐給水處理工作者一直都在探求既高效又經濟的除氧方法，而真空除氧法就是其中一種。
真空除氧的工作原理是應用亨利定律和道爾頓定律，根據亨利定律可知 ,在封閉容器中，任何氣體同時存在于水面上 ,則氣體的溶解度與其自己的分壓力成正比 ,而且氣體的溶解度僅與其本身的分壓力有關。在一定壓力下 ,隨著水溫升高 ,水蒸汽的分壓力增大 ,而空氣和氧氣的分壓力越來越小。在 100℃時 ,氧氣的分壓力降低到零 ,水中的溶解氧也降低到零。當水面上壓力小于大氣壓力時 ,氧氣的溶解度在較低水溫時也可達到零。這樣，水面上空間氧氣分子被排出 ,或轉變成其它氣體 ,從而氧的分壓力為零 ,水中氧氣就不斷地逸出，達到除氧的效果。
這種除氧方法一般在 30℃～ 60℃溫度下進行。可實現水面低溫狀態下除氧 (在 60℃或常溫 ) ,對熱力鍋爐和負荷波動大而熱力除氧效果不佳的蒸汽鍋爐 ,均可用真空除氧而獲得滿意的除氧效果。相對于熱力除氧技術來說：它的加熱條件要求很低 ,鍋爐房自耗汽量減少 ,并且真空除氧器可低位布置 ,對運行管理噴射泵、加壓泵等關鍵設備的要求比熱力除氧更高。低位布置也需要一定的高度差 ,而且對噴射泵、加壓泵等關鍵設備的運行管理要求也很高。
