Werth Inspector FQ超高速復合式三坐標測量機采用無摩擦的線性驅動系統可以做到超高速批量檢測并可保證高精度，定位速度可達1m/s，加速度10m/s2，為世界上測量速度快的復合式三坐標測量機。
超高速復合式三坐標測量機主要特點：
◆ 超高速測量，采用無摩擦的線性驅動系統
◆ 三維幾何自動化測量，輪廓圖象處理系統，用于常規幾何和自由曲面的自動測量
◆ ?？旎瘶嬙炷軌蚩焖龠m用于不同的測量任務
◆ Z軸快速成像自動聚焦系統，高速CNC連續路徑控制
◆ 無畸變遠心光學系統(0.2x-100x）,可選用變焦光學系統
◆ 可選配接觸式測頭、點激光、線激光各種傳感器
技術參數：
型 號 | Inspector FQ | |
測量范圍 | (X-軸) | 400-1000mm |
(Y-軸) | 400-1000mm | |
(Z-軸) | 200-300mm | |
允許測量誤差 | (E1單軸精度） | (2.5+L(mm)/120)µm |
(E2平面精度） | (2.9+L(mm)/100)µm | |
(E3空間精度） | (4.5+L(mm)/75)µm | |
固定鏡頭 | 0.2X-100X | |
分辨率 | 0.2µm | |
工作臺承重 | 150kg（300kg可選） | |
定位速度 | 1m/s | |
加速度 | 10m/s2 | |
頻率 | 48-62Hz | |
儀器重量 | 1500-6000kg | |
精度保證環境條件 | 20℃±2 o Δ=1o/h | |
適用溫度 | 10-35℃ | |
可選配Werth Zoom高放大倍率(0.68-6.8X或1-10X)，大工作距離(80mm標準或20mm-220mm可變)十級自動變焦系統，更高測量精度可選
依據標準 ISO 10360 和 VDI/VDE 2617
