MOX傳感器MCM設備的組成。測試系統需求為了測試這些設備,測試系統需要具備以下功能和屬性:測試/校準MOX傳感器的時間可能需要幾十分鐘。由于需要在真空和目標氣體“浸泡”傳感器,所以需要很長的“soak”時間。顯然,使用大型、高性能的半導體測試儀,在soak期間需要閑置一段時間,這樣不能有效的利用這些昂貴的資源。所以,解決方案必須具有較低的初始資本成本。測試吞吐量很重要。由于駐留時間長,因此系統必須支持非常大的并行測試能力,這樣才能將soak時間內分攤到多個設備上DUT負載板必須位于一個可以對氣體濃度進行控制的封閉環境中。
LDG-MIK升級款電磁流量計是根據法拉第電磁感應定律進行流量測試的流量計。電磁流量計的優點是壓損極小,可測流量范圍大。流量與流量的比值一般為10:1以上,適用的工業管徑范圍寬,可達3m,輸出信號和被測流量呈線性,度較高,可測量電導率≥5μs/cm的酸、堿鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體以及泥漿、礦漿、紙漿等流體流量。
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但是由于這種探頭的帶寬只能做到6MHz左右,所以隨著開關電源頻率的提升,這種探頭便不再適合使用。目前常用的電源測量探頭是10:1無源探頭、100:1無源探頭、高壓差分探頭。探頭的選擇上首先要考慮電壓范圍,被測電壓不要超出探頭允許的范圍。比如說一般的10:1的無源探頭,其低頻耐壓值是300VRMS,且隨著頻率的升高而降低。如所示。使用之前要測量信號的電壓范圍在此范圍內。否者將無法進行正確的測量。10:1無源探頭輸入額定電壓曲線除此之外,還需要考慮探頭衰減比對底噪的放大,從而判斷信號的真實有效部分。
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