-75度小型低溫測試機，微型高低溫試驗爐技術參數：
1、溫度范圍： -75/-40℃~150℃；
2、波動度：≤±0.5℃；
3、均勻度：≤±2℃ ；
4、內尺寸：300×300×300 （mm）；
5、電源： 220V 50Hz ，3.5KW。
-75度小型低溫測試機，微型高低溫試驗爐模式：
1、系統：可編程觸摸屏控制器；
2、控制模式：采用P.I.D.+S.S.R；
3、運行方式：定值控制、程序控制；
無塵烘箱，無塵百級烘箱概述
無塵烘箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
無塵烘箱，無塵百級烘箱特點
1、 烤箱用于半導體車間100級生產線；
2、 設備能夠實現對CASETTE內硅片烘烤工藝；
3、 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
4、 開機后墻體內一直處于恒溫狀態；
5、 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度；
6、操做人員放入產品后關門，點擊開始按鈕即可一鍵完成菜單工藝，完成后伴有聲光提示。
無塵烘箱，無塵百級烘箱技術參數
1、 無塵等級：Class 100;
2、 溫度均勻度：±2℃;
3、 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 溫度范圍：RT+10-200/300℃;
6、 升溫速率：≥8℃/min（可修改）；
7、 內腔材質：SUS304＃鏡面不銹鋼；
8、 外箱材質：優質冷軋板噴塑或SUS304＃不銹鋼；
9、 密封條：耐高溫氟橡膠密封條；
10、氮氣裝置：可調式浮子流量計；
11、安全裝置：漏電保護，超溫保護，三色提示燈等。
