光催化廢氣處理除臭設備UV＋O2→O-+O+（游離氧）O+O2→O3（臭氧）*臭氧對有機物具有*的氧化作用，對臭氣及其它刺激性異味有*的清除效果。3）惡臭氣體利用排風設備輸入到光解氧化凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應。 4）利用高能紫外光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，可*達到脫臭及殺滅細菌的目的。高分子污染物質分子鍵，經過高能紫外線光能的裂解及臭氧的氧化聚合作用，轉變聚合成低分子無害或低害物質如H2O，CO2等。 臭氧產生的分子式：UVD→O2=O-+O+=O2+O- /O2+O+→O3 污染物質分子裂解轉化的過程為： UVD→H2S=H++H-+S→H++ H-+O3/S+O3→ H2O＋SO42-UVD→CS2= C+ S-+S+→C+O3/S-+S++O3→CO2＋SO42-
光催化廢氣處理除臭設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體和TiO2光催化，催化裂解惡臭氣體如：氮、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
TiO2光催化的催化化性在很大程度上影響光催光反應速率，而TiO2光催光活性主要受TiO2的晶型和粒徑的影響。銳鈦型TiO2的催化活性高。隨著粒徑的減少，電子與空穴簡單復合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔徑、粒子表面狀態，純度等對其光催化活性也均有一定影響。為了提高光降解效率，對TiO2光催化劑進化改性，如研制納米TiO2，制備TiO2的復合半導體，金屬離子摻雜、染料光敏化等。也可以采用各種*的手段制備TiO2催化劑，以提高光催化劑的活性。
