臭氧作為一種強氧化劑，可以容易的將難溶于水的NO氧化成可溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高價態氮氧化物。然后在洗滌塔內采用Na2S和NaOH等溶液進行吸收后將NOX轉化為N2達到脫除的目的，NOX的去除率較高。采用臭氧脫硝的影響因素主要包括摩爾比、反應溫度、反應時間、吸收液性質、臭氧投加系統等。
臭氧布氣系統結合以上因素設計。在設計過程中通過ComputationalFluidDynamics計算機模擬分析優化后重新改進，對原布氣管道升級為臭氧多點逆流噴射煙道布氣系統。
臭氧低溫脫硝系統達標應用于燒結機、鏈條爐、循環硫化床鍋爐、玻璃窯爐、垃圾焚燒爐、生物質鍋爐等爐型。
臭氧脫硝原理
按照O3對于NOx復雜的氧化反應過程，實際上是通過N的價態變化體現出來，主要的反應如下：
2NO+3O3=N2O5+3O2
2N02+O3=N2O5+O2
NO+O3=NO2+O2
與氣相中的其他化學物質如CO，SOx等相比，NOx可以很快地被臭氧氧化，這就使得NOx的臭氧氧化具有很高的選擇性。因為氣相中的NOx被轉化成溶于水溶液的離子化合物，這就使得氧化反應更加*，從而不可逆地脫除了NOx，而不產生二次污染。
經過氧化反應，加入的臭氧被反應所消耗，過量的臭氧可以在噴淋塔中分解。除了NOx之外，一些重金屬，如汞及其他重金屬污染物也同時被臭氧所氧化。煙氣中高濃度的粉塵或固體顆粒物不會影響到NOx的脫除效率。
工藝分類
臭氧發生器是高壓放電式發生器，是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而制造臭氧。
VPSA空分制氧：以壓縮空氣作為氣源，過濾凈化后進入裝有沸石分子篩的吸附塔后產生高純度的氧氣進入臭氧發生器。
液氧源：以液氧做為氣源，通過減壓、氣化后產生氧氣進入臭氧發生器。
臭氧氧化脫硝流程示意圖
