奧林巴斯半導體/FPD檢測顯微鏡MX63/MX63L具有多種功能，采用符合人體工學的易用設計，能夠提供zui大 300mm 晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質觀察。該產品采用靈活的模塊設計，能夠提供適用于多種檢查用途的*觀察系統。通過與奧林巴斯 Stream 圖像分析軟件結合，從觀察到報告生成在內的整體檢查過程都變得簡單而流暢。
奧林巴斯半導體/FPD檢測顯微鏡MX63/MX63L是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產品，由此進一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結合使用。在很多應用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷。
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導體、平板顯示、印制電路板等行業的大尺寸樣品檢測。MX63可用于zui大晶圓直徑200mm，MX63L可用于zui大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機，實現可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進行檢測。
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設計讓檢測者能夠根據應用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應用而設計，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動組件均安裝在屏蔽結構內，鏡架、鏡筒以及其他部件均經過防靜電處理。
