熒光X射線鍍層測厚儀技術指標
產品名稱:熒光X射線鍍層測厚儀
X/Y/Z平臺重復定位精度:小于0.1um
操作環境濕度:≤90%
操作環境溫度:15℃~30℃
分析元素范圍:硫(S)~鈾(U)
同時檢測元素:多24個元素,多達5層鍍層
分析含量:一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度:一般在50μm以內(每種材料有所不同)
SDD探測器:分辨率低至135eV
*的微孔準直技術:小孔徑達0.1mm,小光斑達0.1mm
樣品觀察:配備全景和局部兩個工業高清攝像頭
準直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種準直器組合
儀器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm
樣品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm
樣品臺尺寸:393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平臺移動速度:額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
熒光X射線鍍層測厚儀鍍層部分產品
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