上海伯東德國 Pfeiffer 新推出離子注入系統渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在離子注入系統中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的轉子設計保證小分子氣體的抽速, 確保了針對離子注入工藝的*工藝適應性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達 2600 l / s.
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能溫度管理系統, 減少泵系統內部的工藝冷凝和沉積, 該系統允許單獨設置溫度, 確保渦輪分子泵能夠*地適應工藝需求. 鍍鎳轉子確保泵本身耐用性.
伯東pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 產品優勢
1. 氫氣抽速高達 2600 l / s
2. 鍍鎳轉子更耐用
3. 采用智能溫度管理系統,能自適應工藝條件, 減少泵內冷凝和沉積
4. 使用壽命更長
伯東pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 技術參數
法蘭（進氣端） | DN 250 ISO-F |
法蘭（出氣端） | DN 40 ISO-KF |
排氣連接 | G 1/8“ |
氮氣抽速 | 2,300 l/s |
氬氣抽速 | 2,100 l/s |
氦氣抽速 | 2,900 l/s |
氫氣抽速 | 2,600 l/s |
轉速 | ±2 % 27,300 rpm |
運行時間 | 8.6 min |
在全轉速情況下的氮氣氣流量 | 16 hPa l/s |
在全轉速情況下的氬氣氣流量 | 11 hPa l/s |
在全轉速情況下的氫氣氣流量 | 50 hPa l/s |
在全轉速情況下的氦氣氣流量 | 24 hPa l/s |
氮氣壓縮比 | > 1X108 |
氬氣壓縮比 | > 1X108 |
氦氣壓縮比 | 6X104 |
氫氣壓縮比 | 4X103 |
氮氣zui大前級真空 | 0.8 hPa |
根據 PNEUROP 的極限壓力 | < 1X10-7 hPa |
重量 | 62 kg |
冷卻方法 | 水 |
冷卻水耗量 | 100 l/h |
冷卻水溫度 | 15 – 25 °C |
接口 | E74, RS-485 |
zui大允許磁場 | 3.4 mT |
聲壓水平 | < 50 dB(A) |
伯東pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領域: 離子注入機, 苛刻工藝
伯東pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 尺寸
伯東pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型號
型號 | 訂貨號 |
HiPace 2800 IT | PM P05 241 |
HiPace 2800 IUT | PM P05 246 |
Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 2800 IT :上海伯東真空產品事業部是德國 Pfeiffer 銷售維修中心, 我司是早代理 Pfeiffer 產品的公司, * *并提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售后維修服務.
