IBEX-300晶圓級(jí)超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)是專門用于晶圓片在磁場(chǎng)作用下的表征和測(cè)試的儀器，它使用三維磁場(chǎng)發(fā)生器和*的可定制硬件，為磁性器件（傳感器和存儲(chǔ)器）的開發(fā)、工藝和生產(chǎn)帶來了完整的測(cè)試解決方案。
IBEX-300晶圓級(jí)超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)主要特點(diǎn)：
■ 可以用于100~300mm晶圓 | ■ 嵌入式傳感器校準(zhǔn) |
主要應(yīng)用方向：
■ 磁性隧道結(jié)
■ 磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器
■ 集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能傳感器
技術(shù)原理：
探針臺(tái)采用*的三維磁場(chǎng)發(fā)生器，每個(gè)磁場(chǎng)空間軸獨(dú)立驅(qū)動(dòng)。利用這3個(gè)自由度，用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場(chǎng)，也可以生成旋轉(zhuǎn)場(chǎng)。三維磁場(chǎng)裝置配備了所有相關(guān)配件，測(cè)試程序和磁鐵校準(zhǔn)工具包。 三維磁發(fā)生器置于探針臺(tái)頂部，并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場(chǎng)。為了適應(yīng)器件測(cè)試設(shè)計(jì)，探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場(chǎng)發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào)，取決于所使用的探針卡和探針。 |
