LIBSOPA實現了一維線性掃描、一維深度分析和二維面掃描分析，用統計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夾雜物分布、表面和內部缺陷分析等指標。LIBSOPA為材料成分分析 、 缺陷分析 、涂鍍層分析等 提供了新的技術手段及質量判據 。

激光原位分析儀非接觸、微區、深度分析；兼具原位統計分布分析功能；分析空間分辨率150-400μm.

技術參數：

一.激發光源

激光器：燈泵固體激光器

輸出波長：1064 nm

脈沖頻率：1~10Hz可調

二.雙視場成像：

全景視場：100mm*100mm

微區視場：8mm*8mm

三.移動掃描系統：移動分辨率：1μm

行程：80mm*80mm

四.剝蝕光斑 ：

軟件自動調節

尺寸：150μm ~400μm

五. 分光系統：

巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm

高發光全息光柵，刻線為2400條/mm

譜線范圍：170~800nm

分辨率：優于0.01nm

? 惰性氣體密閉樣品倉

? 可檢測短波元素（C,P,S,B)

一.激發光源

激光器：燈泵固體激光器

輸出波長：1064 nm

脈沖頻率：1~10Hz可調

二.雙視場成像：

全景視場：100mm*100mm

微區視場：8mm*8mm

三.移動掃描系統：移動分辨率：1μm

行程：80mm*80mm

四.剝蝕光斑 ：

軟件自動調節

尺寸：150μm ~400μm

五. 分光系統：

巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm

高發光全息光柵，刻線為2400條/mm

譜線范圍：170~800nm

激光原位分析儀分辨率：優于0.01nm

? 惰性氣體密閉樣品倉

? 可檢測短波元素（C,P,S,B)