電鏡屏蔽/主動消磁系統 產品參數

通過穩定磁場環境確保您購置的電子束科技設備應有性能
消除和監測交直流磁場
簡單的“一勞永逸”式操作，連續實時補償磁場
磁場躍變響應速度：100 μs以內
交流或直流磁場傳感器
消磁器動態工作范圍為(X & Y軸) 為<=40 mG (4 μT ) pk-pk, Z -軸為<=30mG (3.0μT) pk-pk
交流磁場可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz；市電50 Hz（典型）的交流背景磁場可被改善75倍
直流磁場可消除范圍：DC to 5 kHz；直流背景磁場可被改善200倍
完整的X, Y, Z三軸消磁系統
可消除場強高達80 mG (8.0 μT) pk-pk
消磁器顯示系統需為數字LCD 顯示面板,其參數設定及操作皆可透過面板按鈕作控制及切換
高靈敏度傳感器，可精確反饋環境磁場變化；支持多路傳感器，用于抵消TEM透射電•鏡和CD關鍵尺寸電子束顯微在線檢測設備的環境磁場
網絡***（選項）
本設備為免校正儀器,其內部的自我歸零功能會自動校正

電鏡屏蔽/主動消磁系統 產品特點
當今高精電子束設備對環境磁場及其動態變化是非常敏感的。環境磁場使電子束產生偏移，從而導致設備分辨率和測量精度的減低。

SC20系統由磁場控制單元、一兩個交流或直流磁場傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜（三維空間線圈）組成，是一種三維的交直流磁場補償系統。

傳感器測量空間環境中交直流磁場及其變化量，磁場控制單元以實時負反饋環路控制方式調節三個線圈中的電流來創建一個與環境磁場變化相反的磁場信號，抵消環境磁場給電子束設備帶來的影響，恢復設備應有的分辨率和精度。

這是一個動態系統，對磁場躍變自動響應的速度在100微秒以內。

市電（50/60 Hz）頻率的交流背景磁場可被消除至75分之一；直流背景磁場可被消除至200分之一。