等離子清洗機采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。等離子表面處理機外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗程度達到分子級。
等離子清洗機除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變某些材料表面的性能。等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學鍵發生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。
儀器應用：
1. 高分子材料表面修飾。
2. 清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。
3. 移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質。
4. 清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。
5. 清洗半導體元件、印刷線路板。
6. 清洗生物芯片、微流控芯片。
7. 清洗沉積凝膠的基片。
8. 清洗電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。
9. 牙科材料、人造移植物、科研的消毒和殺菌。
10. 改善粘接光學元件、光纖、生物醫學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。
