隔膜真空泵外形小，噪音特別小且真空度高。使用范圍可達到2mbar, 在無油狀態下工作， 特別適用于需要抗化學腐蝕的場合。
1、標準型：MP常規的物理應用，用于抽吸非腐蝕性氣體。
2、化學防腐型：MPC用于溶劑蒸氣和酸蒸氣的泵。隔膜和所有與蒸氣的接觸部分使用PTFE制造或覆有PTFE涂層并用碳纖維加固。很小的導電性降低了靜電負荷，并降低了在泵內點燃爆炸性混合氣體的危險性。MPC型*適用于抗化學腐蝕的場合。

一、德國Ilmvac伊爾姆MP系列非抗化學隔膜真空泵技術參數：

帶變頻電機的隔膜泵MP ecoflex和MPC ecoflex
新一代的智能型真空技術。隔膜泵轉速可調。新的真空控制器VCZ324承擔了真空設備的控制并因此zui大能節省80%的運行費用。流程效率更高，更具可重復性，運行通常明顯更快。
所有的ecoflex隔膜泵裝備有VCB424真空控制器。

- 測量范圍： 根據感應器1100-1mbar, 可在mbar/Torr之間轉換。
- 接口：RS232/485
- 顯示：數字式
- 顯示誤差：1mbar
- 感應器：帶Al2O3-隔膜，抗電容或抗壓電
- 測量原理：與氣體類型無關，值
- 控制電壓：24V
- 真空接口：通過感應器-通風閥 DN 16 KF

MP內置式隔膜泵：
常與儀器設備做配套使用。
無外殼的小隔膜泵。對物理應用。
zui終壓力低，可作為渦輪分子泵的單個前泵。
- 工作溫度范圍 10-60℃
- 10,000個工作小時
- 連接電壓24V