AL76C立式微波等離子清洗機：AL76C為一體式緊湊型的等離子系統，真空泵集成于立柜內。適用于批量生產，也可以i滿足研發及實驗室應用。并且，此系統可以滿足360度的芯片封裝需要、工業、醫藥等領域。AL76C系統是一款創新型的通用設備，可選配旋轉轉盤，及ECR（電子回旋共振）裝置。

AL76C立式微波等離子清洗機技術參數：

• 腔體:鋁
• 容積:76公升
• 尺寸:寬度400毫米×深度490毫米×高度400毫米
• 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈式門
• 微波源：2.45GHz，可調50-1200W
• 氣體進氣:3路數字顯示的質量流量器控制
• 真空計: Pirani,1-1000Pa
• 真空系統：DN 63 ISO-KF
• 真空閥：電動氣動閥
• 設備尺寸：1050毫米x800毫米x2020毫米

系統控制：

• PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
• 10.4"觸摸屏、圖形用戶界面
• Windows Office兼容
• 存儲處理數據和錯誤信息，處理數據輸出
• 工藝參數圖形曲線的 監測
• 自動或手動操作

選配：

• 真空泵 ： 真空泵組，如，抽吸能力大250m3/h
• 氣路：額外的數字顯示質量流量控制器（可支持到4路）
• 旋轉臺：鋁，直徑350mm,速度可調
• ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體