NANO-MASTER 等離子清洗和灰化系統是專門設計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制，微波等離子清洗機可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應用。

儀器的選配：

• 真空泵 ： 真空泵組，如，抽吸能力大250m3/h
• 氣路：額外的數字顯示質量流量控制器（可支持到4路）
• 旋轉臺：鋁，直徑350mm,速度可調
• ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體

NPC-4000微波等離子清洗機產品特點：

• 緊湊型立式系統
• 自動上下載片
• 帶Load Lock
• 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
• 兼容100級超凈間使用
• 淋浴頭、ICP或微波等離子源
• 旋轉樣品臺
• RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺
• 全自動或手動RF調諧
• zui多可支持8個MFC帶電拋光的氣體管路
• PC計算機控制的氣動閥
• 帶密碼保護的多級訪問控制
• 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
• 機械泵的壓力可達到10mTorr
• 250 l/s的渦輪分子泵
• 極限真空為5x10-7Torr
• 完整的安全聯鎖