目前針對有機廢氣處理方法有很多種，常見有機廢氣處理方法主要有活性炭吸附法、等離子法、熱力燃燒和催化燃燒法。
（1）活性炭吸附法
西安電子廠廢氣處理檢修利用吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）對廢氣中有機組分的高效吸附性能，使廢氣通過吸附劑層后得以凈化。吸附技術采用的吸附介質是活性炭（棒狀或顆粒活性炭）。吸附法凈化效率高（隨著吸附劑的飽和，凈化效率逐漸降低）、運行費用高（更換吸附劑的成本非常高）、投資成本低、給環境帶來固體廢棄物的二次污染。目前主要應用于大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的有機廢氣凈化處理。
（2）等離子法
西安電子廠廢氣處理檢修利用介質阻擋放電過程中，等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為 CO2 和 H2O 等物質，從而達到凈化廢氣的目的。目前市場上很多低溫等離子名義上是電力廢氣，實際是電離空氣產生臭氧，利用臭氧的強氧化性來進行廢氣處理。低溫等離子的放電效果和空氣的濕度有*的關系，濕度越大能耗越大，大量能量會被水分子吸收，從而降低電離效果。使用低溫等離子處理廢氣，廢氣直接經過放電系統，對于易燃易爆氣體帶來很大安全隱患，容易造成火災等重大安全事故。
（3）催化燃燒法
一般適用于有機廢氣濃度在 2000-5000mg/m3之間，有機廢氣在催化劑（鉬、鉑、鈀等貴金屬）作用下進行低溫氧化無焰燃燒，將有機成分氧化為 CO2和 H2O 產物。特點：無火焰燃燒，易控制，燃燒控制溫度較低（250～300℃之間），外加熱能消耗少，不同的廢氣組分須選擇不同形式的催化劑及燃燒工藝。進入催化燃燒裝置的氣體必須經過過濾處理和預熱處理，使廢氣溫度達到催化劑的起燃溫度（220-250℃之間），除去粉塵顆粒物及液滴等催化抑制劑，避免催化床層的堵塞和催化劑的中毒失效。
