氦質譜檢測儀的功能描述：

1.支持正壓檢漏，負壓檢漏；

2.自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果；

3.優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應；

4.高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦；

5.支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底；

6.機器的性能支持7*24小時長時間在線測試；

7.機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試；

8.配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷；

9.雙銥絲離子源，有效的系統設計，防大氣沖擊；

10.支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用。

氦質譜檢測儀技術參數：

小可檢漏率（負壓模式）  5×10-13Pa?m3/s

小可檢漏率（正壓模式）  1×10-8Pa?m3/s

檢漏口壓強  粗檢 1500Pa

            中檢 200Pa

            精檢 40Pa

響應時間                ＜1s

啟動時間                ≤3min

前級油泵抽速              0.5L/s  

外形尺寸（W×D×H）         845×465×988

重量                   73Kg