有機廢氣先通過干式過濾，將廢氣中顆粒狀污染物截留去除，然后進入吸附床進行吸附，利用具有大比表面積的蜂窩狀活性炭將有機溶劑吸附在活性炭表面，經處理后的潔凈氣體經過風機、煙囪高空排放。活性炭經過吸附運行一段時間后達到飽和，啟動系統的脫附-催化燃燒過程，通過熱氣流將原來已經吸附在活性炭表面的有機溶劑脫附出來，并經過催化燃燒反應轉化生成CO2和水蒸氣等無害物質，并放出熱量，反應產生的熱量經過熱交換部分回用到脫附加熱氣流中，當脫附達到一定程度時放熱跟脫附加熱達到平衡，系統在不外加熱量的情況下完成脫附再生過程。